Fuente lineal de haz de plasma, escalable, para uso en varios sistemas de recubrimiento.
La longitud de la viga se define por las dimensiones del sustrato, mientras que el ancho de la viga (lado inferior) es de 100 mm. Las adaptaciones personalizadas están disponibles bajo demanda.
Rejilla de extracción de una sola capa, con una gran relación calidad-precio.
El material (tungsteno, molibdeno, titanio, acero inoxidable, etc.) se elige según el proceso.
Fuente de plasma lineal escalable
Quatron-L con longitud de haz ajustable, lo que permite la integración en varios sistemas de revestimiento.
Rejilla de extracción económica
Rejilla de una sola capa de tungsteno, molibdeno, titanio, acero inoxidable, etc.; La elección depende del proceso.
Diseño según el sustrato
Diseño de fuente de viga alineado con las dimensiones del sustrato para una máxima precisión de recubrimiento.