Quatron L – Plasma sources

Fonte linear de feixe de plasma, escalável, para uso em diversos sistemas de revestimento.
O comprimento do feixe é definido pelas dimensões do substrato, enquanto a largura do feixe (lado menor) é de 100 mm. Adaptações personalizadas estão disponíveis sob demanda.

Grade de extração de camada única, com ótimo custo-benefício.
O material (tungstênio, molibdênio, titânio, aço inoxidável, etc.) é escolhido de acordo com o processo.

Fonte de plasma linear escalável

QUATRON-L com comprimento de feixe ajustável, permitindo integração em diversos sistemas de revestimento.

Grade de extração econômica

Grade de camada única feita de tungstênio, molibdênio, titânio, aço inox, etc.; a escolha depende do processo.

Design conforme o substrato

Projeto da fonte de feixe alinhado às dimensões do substrato para máxima precisão no revestimento.

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